射频超导腔的研制是粒子加速器领域一项重要技术创新。经过多年研发、中试后，和超高装（中山）科技有限公司（以下简称“和超高装”）于今年进入射频超导腔的产业化阶段。近日，在中山市深中标准质量研究中心的技术支持下，和超高装（中山）科技有限公司发布国内首个射频超导腔的企业技术标准，填补了该领域的空白。

从中试到产业化

站在一个长约1米的小型圆柱形密封产品前，和超高装生产车间负责人鲁文哲告诉记者，这个产品的技术壁垒和市场壁垒都很高，国内能提供超导加速腔加工的产能非常有限。据他介绍，和超高装是目前国内仅有的4个具备射频超导腔产业化能力的企业，和超高装新工厂年产射频超导腔量可达300-500个，产量为国内最大。

超导腔的研发和中试时间很长，不同用途的科学加速器采用的超导加速腔个数从几百只到上万只不等，它的研发与制造是一项涉及特种材料制造、精密机加工、精密焊接、特殊表面处理以及微波超导调测等综合性硬核技术。比如，铌材料，加工难度就非常大，而且价格高。

从中试到产业化的过程中，和超高装走过了一段不同寻常的路。和超高装成立于2017年10月，由哈工大知名教授创立，研发技术人员多来自我国焊接领域唯一的国家重点实验室——哈工大先进焊接与链接实验室，团队曾研发出我国第一支纯铌 9-cell 超导加速腔制造工艺。

作为广东省招商引资重点项目，和超高装于2020年成功竞得中山三角镇的工业用地，开启产业园建设。目前，该公司具备多型号超导加速腔的全流程生产能力。

鲁文哲介绍，公司产品主要应用于国家重大科研基础设施和高端制造领域。公司以特种焊接技术产业化应用为核心，建立精密机加工技术、表面处理技术、真空电子束焊接技术、真空热处理技术、高端器件设计和开发技术、定制工装开发技术六大技术平台，为大型科学装置、半导体设备、核电设备、航空航天设备等高端制造领域提供零部件精密加工解决方案，驱动大国重器。

发布行业标准聚焦更多新领域

据了解，此次和超高超发布的射频超导腔企业标准，规定了射频超导腔的分类、产品结构、技术要求、加工工艺、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存等各个环节，更有效保障超导腔的可靠性和稳定性。同时，该标准发布也填补行业发展的空白，为整个行业树立了新的标杆。

“项目是龙粤对口合作的重要成果之一，我们选择中山主要是接近市场，大湾区多个城市布局了被称为‘大科学装置’的国家重大科技基础设施，这为我们产品的研发、应用提供了便利。”和超高装总经理何琳说。经过多年发展，和超高装形成了真空电子束焊接技术、金属表面微纳米处理技术、高端部零件加工技术等核心技术，其核心产品超导加速腔产品已实现量产。

电子束焊接技术是将高能电子束发出的动能转化为热能，用来轰击工件接头处的金属，使其快速熔融，然后迅速冷却达到焊接效果，具有不用焊条、不易氧化、工艺重复性好及热变形量小的优点，可以广泛应用于航空航天、核能及国防等行业。“真空电子束焊接需要在真空环境下实现这一操作，是最为先进的焊接技术之一，超导加速腔就需要这种技术。未来，随着高能物理、癌症医疗、同步辐射光源、核废料处理等重大科研设施的建设，超导加速腔的市场前景更加广阔。”何琳展望道。

编辑 曾淑花   二审 魏静文   三审 陈浩勤